六氟化硫回收凈化裝置使用運行科研等部門, 對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體,同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。
六氟化硫回收凈化對裝置本機以及電器設備抽真空和真空度的測量的同時，還可對電器設備中的氣體進行回收。同時，對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理，并對SF6電器進行充氣。還可對電器中SF6氣體進行壓縮液態貯存。該裝置的特點如下:
(1)六氟化硫回收凈化裝置設計先進，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了。
(2)壓縮系統采用SF6專用封閉壓縮機，無泄漏。
(3)六氟化硫回收凈化裝置的抽真空系統采用旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。
(4)凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，凈化效果更顯著(無需頻繁更換吸附劑)。
(5)裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
(6)裝置控制系統采用的六氟化硫氣體專用閥門。