高純六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能，如:斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質材料。
高純六氟化硫它化學性質穩定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃。1947年提供商用。當前高純六氟化硫氣體主要用于電力工業中。純凈的SF6氣體一般公認是無毒的。 SF6在生產過程中會有少量伴隨的生成物，其中S2F10是公認的劇毒氣體，但經過凈化處理可以完全將它除凈。
高純六氟化硫雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。SF6氣體通過對流能與空氣混合，但速度很慢。氣體一旦混合后就形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。