六氟化硫氣體具有卓越的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于斷路器、氣體絕緣組合電器、氣體絕緣變壓器、氣體絕緣互感器、氣體絕緣電纜等各種輸變電設備中。
純凈的六氟化硫氣體在常溫常壓下無色、無味、無毒，不可燃，理化性質穩定，但若設備內部存在局部放電、重燃和嚴重過熱性故障時，該氣體將發生分解，產生SO2、H2S、CO 等有害化合物，不僅會使六氟化硫電氣設備絕緣性能下降，而且會嚴重威脅人身安全。
六氟化硫氣體化學性質極其穩定，其自身分解溫度在500℃以上，在正常運行情況下分解物極少，但在電弧、火花和電暈放電的作用下，氣體會發生分解，產生一些低氟化合物，這些化合物又會與電極材料、絕緣材料、水分和氧氣等進一步發生反應生成十分復雜的化合物。
六氟化硫氣體化學性在500℃以下不分解，超過700℃ 時就會分解;另外在電弧作用下也會分解。六氟化硫氣體分解氣體有SF4、SOF2、SO2F2等，它們均是活性物質，與電氣設備內存留的水分生成氫氟酸(HF)，HF不僅腐蝕金屬構件，而且侵蝕絕緣材料，導致絕緣損壞。
六氟化硫電氣設備用絕緣材料一般為環氧樹脂、不飽和聚酯、聚四氟乙烯塑料及纏繞聚酯絕緣件。玻璃纖維增強樹脂基復合材料的腐蝕，物理腐蝕和化學腐蝕兼有:由于樹脂與六氟化硫發生吸附作用，介質分子通過滲透、擴散進入樹脂基體內部，使樹脂膨脹;介質滲入導致局部放電，從而導致絕緣破壞。
隨著樹脂基體的破壞，介質滲透到玻璃纖維與樹脂的界面，使樹脂與纖維的粘結力下降。且HF與玻璃纖維中的二氧化硅(Si02)生成四氟化硅(SiF4)，進而生成氟硅酸(H2SiF6)，使高純六氟化硫介電性能劣化。六氟化硫分解氣體對絕緣材料的影響，其材料穩定性大小順序為:酯基>氨基>縮醛>含硅材料。