高純六氟化硫泄漏檢查分為定性和定量檢查，定性檢查是直接對設備各接頭密封點鋁鑄件進行檢測，可以查出設備各泄漏點位置。定量檢查是通過包扎檢測、掛瓶法或壓力折算求出泄漏量，從而得出年泄漏率。
定性高純六氟化硫檢漏有抽真空檢漏和檢漏儀檢測兩種方法:
① 抽真空檢漏法是將設備抽真空至40Pa，停泵0.5h，在真空表上讀出A數，再停5h，讀出B數，若B - A≤133Pa，則認為密封良好;
② 檢漏儀檢漏是將檢漏儀探頭沿設備各連接口表面和鋁鑄件表面移動，根據高純六氟化硫檢漏儀讀數判斷氣體的泄漏情況。
檢漏儀檢漏時應注意:探頭移動速度應慢，以防探頭移動過快而錯過泄漏點;檢漏時不應在風速大的情況下，避免高純六氟化硫泄漏氣體被風吹走而影響檢漏;檢漏儀選擇靈敏度高、響應速度小的檢漏儀，一般使用檢漏儀的最低檢出量
定量檢漏通常采用扣罩法、掛瓶法、局部包扎法、壓降法等方法。扣罩法適用于高壓斷路器、小型設備適合做罩的場合，掛瓶法適用于法蘭面有雙道密封槽的場合，局部包扎法一般用于組裝單元和大型產品，壓降法適用于設備隔室漏氣量較大時或運行期間測定漏氣率。通常，黎明六氟化硫設備在交接驗收試驗中，檢漏工作都使用局部包扎法和扣罩法查漏。