高分辨率雙晶X射線衍射儀簡介:
X'Pert PRO MRD/XL是高級半導體材料的標準裝備,用于: 高級材料科學和納米技術,半導體材料研究和生產質量控制,可以適用各種應用,尤其適合薄膜分析,例如: 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping, 反射率和薄膜相分析,殘余應力和織構分析, X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導體、LED、薄膜和高級工業材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達 300 mm的晶片分析,并有精密的自動晶片裝載選擇;XL成為薄膜生產發展的先進的分析手段,LED的業界標準。
高分辨率雙晶X射線衍射儀可以適用各種應用,尤其適合薄膜分析,例如:
· 振動曲線分析和交互空間圖
· 反射儀和薄膜相分析
· 殘余應力和織構分析
帕納科高分辨率x射線衍射儀同已經證明的標準版本系統一樣,還有許多專門的版本:
· X'Pert PRO MRD平面衍射系統,可以測量與樣品表面垂直的晶格衍射· X'Pert PRO Extended MRD 允許裝備 X射線鏡像和在線高分辨單色器,增強入射光束的強度。
· X'Pert PRO MRD XL 滿足半導體,薄膜和高級工業材料的所有高分辨XRD分析需要。
帕納科高分辨率x射線衍射儀技術參數:
1,功率:3kW
2,測角儀重現性:0.0001度
3,測角儀類型:T-2T
4,五維樣品臺
衍射儀