FS4001系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
低功耗、低壓損
矽翔公司基于MEMS 技術的流量芯片廣泛應用于多種醫療設備（ 如:呼吸機、麻醉機、個人呼吸機、內窺鏡、伽馬醫療設備、哮喘監測、藥物輸送、肺功能儀等），醫院中心供氧、制氧設備、分床計費系統，工業制造業用氣測量及過程控制，環保行業大氣監測及分析、食品飲料加工，科學氣體分析儀器 ，半導體設備， 樓宇自控，民用健身與保健設備 ，家電生產工藝控制 ，汽車生產工藝控制，農林漁業養殖等領域；在全新的燃料電池等尖端科技領域亦有應用。 目前，產品已銷售到美國、歐洲、加拿大、日本、韓國、南美、大洋洲、東南亞、東南亞、中東等多個國家和地區。
矽翔公司是中國家標準GB/T 20727-2006 《熱式質量流計 》; JJG 1132-2017 《熱式氣體質量流計 》；電子行業標準《質量流控制器 》起草單位之一。