科研實驗專用二氧化鋯靶材ZrO2磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發料
產品介紹
二氧化鋯（ZrO2）由于ZrO2單晶需摻入釔（Y）以穩定其結構， 一般實際使用的是YSZ單晶――加入釔穩定劑的氧化鋯單晶。它機械、化學穩定性好，價格較低因而得以廣泛應用。
產品參數
中文名二氧化鋯 化學式ZrO2
分子量123.22 密度5.85g/cm3
熔點約2700℃ 沸點4300 ℃
支持靶材定制，請提供靶材產品的元素、比例（重量比或原子比）、規格，我們會盡快為您報價！！
服務項目:靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款，質量保證，售后無憂！
產品附件:發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝
適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備
質量控制:嚴格控制生產工藝，采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段，分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度；可提供質檢報告。
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差，連續長時間濺射易發生靶裂情況，綁定背靶后，可提高化合物靶材的導熱性能，提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您，選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶！
我公司采用高純銦作為焊料，銦焊厚度約為0.2mm，高純無氧銅作為背靶。
注意:高純銦的熔點約為156℃，靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化！綁定背靶不影響靶材的正常使用！
建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材，高功率下濺射易碎，建議濺射功率不超過3W/cm2。