明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器
明電舍通過(guò)40年對(duì)真空斷路器的開發(fā)制造，積蓄了該領(lǐng)域的豐富技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，成功開發(fā)制造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機(jī)器的制造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)制造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，采用了真空封閉方式進(jìn)行制造，并且采用了長(zhǎng)時(shí)間保持真空狀態(tài)的構(gòu)造。其產(chǎn)品用于:液晶屏面板制造裝置領(lǐng)域，太陽(yáng)能電池板制造領(lǐng)域，醫(yī)療?測(cè)量機(jī)器領(lǐng)域，半導(dǎo)體制造裝置領(lǐng)域，廣播電視播放領(lǐng)域，科學(xué)研究領(lǐng)域等官方應(yīng)用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統(tǒng) matching box上使用
真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實(shí)現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無(wú)整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復(fù)性，可以承受瞬間過(guò)電壓；
SCF-153.5H52WR
SCV-514M 5KV-1400PF
SCV-152.5
SCV-151
SCV-204
SVC-514M
SCV-520M
SCV-205G
SCV-155M
SCF-200.5C
SCF-53Z
SCF-201C
SCF-152Z
BDS5-3040
SCF-151Z
SCV-7.55
SCF-151.5Z
SCV-520M
SCF-55Z
SCV-514M
KIU-KR DC110V 14VA
NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ
KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A
KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA
NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ
SCV-152.5
SCV-250.8D
SCV-202D
SCV-104G
SCV-510M
SCV-1014G
SCV-151H55UW
SCV415H65UW
SCV-55FH55UW
SCV-85H55UW-NP
SCV-515G
SCV-152.5GT
SCV-152.5H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-415H65UW-C
SCV-85H55UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCF-200.5G
SCF-150.75Z
SCF-150.5Z
SCF-153.5H52WR
規(guī)格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗(yàn)電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動(dòng)作電壓 [kVp] 9 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長(zhǎng)度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報(bào)線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設(shè)備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來(lái)，由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴(kuò)大至CVD，蝕刻，滴濺設(shè)備等半導(dǎo)體薄膜制造設(shè)備阻抗
整合應(yīng)用領(lǐng)域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過(guò)移動(dòng)真空容器內(nèi)的電極而實(shí)現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標(biāo)準(zhǔn)的型號(hào)，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號(hào)，同時(shí)通過(guò)風(fēng)箱構(gòu)造以及增強(qiáng)材質(zhì)的大電
流低扭矩型（H系列）。
標(biāo)準(zhǔn)型特點(diǎn)
1 壽命長(zhǎng)
采用高強(qiáng)度的不銹鋼風(fēng)箱，實(shí)現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命達(dá)100萬(wàn)循環(huán)。同時(shí)通過(guò)高強(qiáng)度特殊螺釘
構(gòu)造，在可變范圍二分之一的情況下實(shí)現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬(wàn)以上的長(zhǎng)壽命。
2微型化
陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實(shí)現(xiàn)。
統(tǒng)一設(shè)為全長(zhǎng)140MM（裝置標(biāo)準(zhǔn)115MM），容易實(shí)現(xiàn)機(jī)器安裝時(shí)的可更換性。
強(qiáng)電流低扭矩型特點(diǎn)
強(qiáng)電流通電
風(fēng)扇采用銅合金新材料，可以實(shí)現(xiàn)強(qiáng)電流通電。（強(qiáng)電流規(guī)格:空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
低扭矩
H系列內(nèi)部構(gòu)造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的微型化得以實(shí)現(xiàn)。
長(zhǎng)壽命
采用高強(qiáng)度不銹鋼風(fēng)箱，通過(guò)可變范圍二分之一以下的風(fēng)箱壽命100萬(wàn)回轉(zhuǎn)，以及高強(qiáng)度特殊螺釘構(gòu)造，
能夠?qū)崿F(xiàn)可變范圍二分之一的總回轉(zhuǎn)達(dá)到1500萬(wàn)以上的超長(zhǎng)壽命。
真空固定電容器
真空固定電容器的誘導(dǎo)體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數(shù)。從而使電容器即
實(shí)現(xiàn)了微型化，又能耐高壓和承受強(qiáng)大電流。
特點(diǎn)
耐高壓
由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無(wú)恙。
低損耗
真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現(xiàn)在構(gòu)成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導(dǎo)航用陶瓷
。
微型化
通過(guò)采用耐高壓的特殊電極實(shí)現(xiàn)微型化。
型號(hào) 峰值試驗(yàn)電壓 RF動(dòng)作電壓 靜電容量 最大許可容量電容 回轉(zhuǎn)行程 回轉(zhuǎn)數(shù) 尺寸
Type description Peak test Peak working Capacitance Max. RF current Max.torque Turns Dimensions
voltage voltage (Min.-Max.) (13.56MHz) (Length×Diameter)
(50/60Hz) (13.56MHz) 空冷/Air cooled
SCV-55 5kVp 3kVp 30-500pF 100Arms 24.5N?cm 12回轉(zhuǎn) L140×φ60mm
SCV-7.55 7.5kVp 4.5kVp 30-500pF
SCV-151 15kVp 9kVp 10-100pF
SCV-152 12-200pF
SCV-152.5 30-250pF
SCV-510M 5kVp 3kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-514M 90-1400pF
SCV-155M 15kVp 9kVp 50-500pF
SCV-520M 5kVp 3kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1010 10kVp 6kVp 80-1000pF
SCV-204 20kVp 12kVp 80-450pF
SCV-155G 15kVp 9kVp 25-500pF 90Arms 24.5N?cm 12回轉(zhuǎn) L140×φ62mm
SCV-251G 25kVp 15kVp 10-100pF
SCV-252G 12-200pF
SCV-252.5G 25-250pF
SCV-1010G 10kVp 6kVp 50-1000pF L140×φ73mm
SCV-1014G 90-1400pF
SCV-205G 20kVp 12kVp 50-500pF
SCV-1020G 10kVp 6kVp 85-2000pF L140×φ89mm
SCV-1510G 15kVp 9kVp 80-1000pF
SCV-250.3G 25kVp 15kVp 6-30pF 27Arms 19.6N?cm 5.5回轉(zhuǎn) L100×φ60mm
SCV-250.8G 10-80pF 72Arms
SCV-300.2G 30kVp 18kVp 6-20pF 21Arms
SCV-104G 10kVp 6kVp 60-450pF 90Arms L100×φ63mm
SCV-201.7G 20kVp 12kVp 45-170pF
SCV-7.55H65 7.5kVp 4.5kVp 20-500pF 110Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ65mm
SCV-151H65 15kVp 9kVp 20-100pF
SCV-152H65 20-200pF
SCV-152.5H65 20-250pF
SCV-510H82 5kVp 3kVp 25-1000pF 130Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ82mm
SCV-105H82 10kVp 6kVp 25-500pF
SCV-154H82 15kVp 9kVp 25-400pF
SCV-202H82 20kVp 12kVp 25-200pF
SCV-202.2H84 20kVp 12kVp 15-220pF 130Arms 18N?cm 10.5回轉(zhuǎn) L125×φ84mm
SCV-250.8H84 25kVp 15kVp 12-80pF
SCV-514H94 5kVp 3kVp 30-1400pF 150Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ94mm
SCV-107H94 10kVp 6kVp 30-700pF
SCV-155H94 15kVp 9kVp 30-500pF
SCV-202.5H94 20kVp 12kVp 30-250pF
SCV-520H110 5kVp 3kVp 35-2000pF 160Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ110mm
SCV-1010H110 10kVp 6kVp 35-1000pF
SCV-205H110 20kVp 12kVp 35-500pF
SCV-315H65G 3kVp 1.8kVp 20-1500pF 100Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ65mm
SCV-105H65G 10kVp 6kVp 20-500pF
SCV-201H65G 20kVp 12kVp 20-100pF
SCV-202H65G 20-200pF
SCV-202.5H65G 20-250pF
SCV-1010H82G 10kVp 6kVp 25-1000pF 120Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ82mm
SCV-155H82G 15kVp 9kVp 25-500pF
SCV-204H82G 20kVp 12kVp 25-400pF
SCV-252H82G 25kVp 15kVp 25-200pF
SCV-300.2H84G 30kVp 18kVp 10-20pF 120Arms 18N?cm 10.5回轉(zhuǎn) L125×φ84mm
SCV-1014H94G 10kVp 6kVp 30-1400pF 140Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ94mm
SCV-157H94G 15kVp 9kVp 30-700pF
SCV-205H94G 20kVp 12kVp 30-500pF
SCV-252.5H94G 25kVp 15kVp 30-250pF
SCV-1020H110G 10kVp 6kVp 35-2000pF 150Arms 18N?cm 14回轉(zhuǎn) L154×φ1
SCV-1510H110G 15kVp 9kVp 35-1000pF
SCV-255H110G 25kVp 15kVp 35-500pF
型號(hào)列舉
MEIDENSHA SCV-150.6HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-150.75HA55UW-C
MEIDENSHA SCV-200.5H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151H55UW-C
MEIDENSHA SCV-201H55UW-C
MEIDENSHA SCV-151.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-152.5H55UW-※2
MEIDENSHA SCV-83.5FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-55FH55UW-C
MEIDENSHA SCV-85H55UW-C
MEIDENSHA SCV-310H55UW-C※2
MEIDENSHA SCV-510H55UW-C
MEIDENSHA SCV-415H55UW-C
MEIDENSHA SCV-125H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-155H65UW-C
MEIDENSHA SCV-810H65UW-C
MEIDENSHA SCV-1010H65UW-C
MEIDENSHA SCV-415H65UW-C※2※3
MEIDENSHA SCV-515H65UW-C
MEIDENSHA VP110
MEIDENSHA VP150
MEIDENSHA UW70
MEIDENSHA SCV-320H65UW-C
MEIDENSHA SCV-715H70UW-C
MEIDENSHA FS36S FS36
MEIDENSHA FS43
MEIDENSHA FC52
MEIDENSHA FC52A FC62
MEIDENSHA FH48C FH65C
MEIDENSHA FH52WR
MEIDENSHA FHA52WR
MEIDENSHA VP94L
MEIDENSHA SCV-251P94L
MEIDENSHA SCV-202.2P94L
MEIDENSHA SCV-153.5P94L
MEIDENSHA SCV-350.3P110
MEIDENSHA SCV-351P110
MEIDENSHA SCV-201.5P110C
MEIDENSHA SCV-251.5P110C
MEIDENSHA VP110
MEIDENSHA SCV-302P110
MEIDENSHA SCV-202.5P110C
MEIDENSHA SCV-252.5P110C
MEIDENSHA SCV-253.5P110
MEIDENSHA SCV-205P110
MEIDENSHA VP65
MEIDENSHA SCV-201P65
MEIDENSHA SCV-152P65C
MEIDENSHA SCV-202P65
MEIDENSHA SCV-152.5P65
MEIDENSHA SCV-202.5P65
MEIDENSHA SCV-104P65FW
MEIDENSHA SCV-124H65FW
MEIDENSHA SCV-7.55P65FW
MEIDENSHA SCV-105P65FW
MEIDENSHA SCV-125P65DW
MEIDENSHA SCV-255P110
MEIDENSHA SCV-158P110FW 15
MEIDENSHA SCV-1510P110W 40
MEIDENSHA SCV-1051P110W 40
MEIDENSHA SCV-520P110W 40
MEIDENSHA SCV-820P110W 40
MEIDENSHA SCV-325P110FW 15
SCV-85H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCV-155H65UW-C
SCV-810H65UW-C
SCV-1010H65UW-C
SCV-415H65UW-C